中文名称: 薄膜
英文名称: thin film
标准类别: 技术导则
标准名称: 薄膜陶瓷基板工厂设计标准
实施地区: 全国
是否有效: 有效
发布日期: 2024-03-12
实施日期: 2024-08-01
中文释义: 利用真空蒸发﹑溅射或其他方法淀积在基板上的电导型、电阻型或介质材料膜层。