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中文名称:
薄膜
英文名称:
thin film
标准类别:
技术导则
标准名称:
薄膜陶瓷基板工厂设计标准
实施地区:
全国
是否有效:
有效
发布日期:
2024-03-12
实施日期:
2024-08-01
中文释义:
利用真空蒸发﹑溅射或其他方法淀积在基板上的电导型、电阻型或介质材料膜层。
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